慢走丝切割平面度测量法

慢走丝切割平面度测量法、慢走丝切割平面度测量法 本文来源：http://hi.baidu.com/czqunji/home 申请人/专利权人：西部金属材料股份有限公司 申请人地址：陕西省西安市高新区科技三路56号 发明设计人：丁旭;闫建峰;刘洋;李静;赵娟;李聪兵;郭磊;马琨;赵小明 专利代理机构：中国有色金属工业专利中心 慢走丝切割平面度测量法其特征在于采用非接触式激光平面度测量仪，其测量过程是用一束激光以一定角度聚集在被测工件表面，再从另一角度对工件表面的激光光斑进行成像。慢走丝切割平面度测量法是对慢走丝切割钨及钨合金器件平面度测量方法，其测量原理是激光三角法，通过非接触式激光平面度测量仪来实现，其测量精度高可满足钨及钨合金器件平面度小于０．０５ｍｍ的要求。