纳米加工机的设计构造解密
发布时间:2016-05-12
纳米加工机的设计构造解密 120,000min-1高速主轴的搭载 沙迪克纳米加工机搭载了无发热、旋转精度高的空气静压轴气涡轮方式的主轴(120,000min-1)。 采用自动热装方式 沙迪克纳米加工机刀具通过直接热装的方式安装在主轴上。对于热装方式,(1)由于刀具轴部是被大面积夹持,主轴高速旋转时对刀具的夹持力不会下降(不会松弛);(2)具有刀具交换精度高等优点。能够自动交换15把刀具。 工件及刀具的测定功能搭载 通过使用球状接触探针的接触感知法(电气的接触感知)测定工件位置,并利用雷射光测定刀具径和长度。与自动刀具交换装置的结合使用实现了高精度加工的自动运转。 无过悬的BOX构造 沙迪克纳米加工机为适应高速、高加速度的运转,采用了具备高刚性、低重心、不会产生过悬的BOX构造。 最小控制单位3nm 搭载了最小分解能3nm的光栅尺和AC无芯直线电机,实现了高精度、高响应驱动。 能量抵消型双直线电机驱动方式的采用 在X、Y轴上搭载了反向轴。反向轴通过与X、Y驱动轴进行相反位相的驱动,抑制了高加速度驱动所产生的振动和重心位置的变化,实现了高精度、高效率加工。 通过促使反向轴在与加工工作台相反的位相进行动作,降低了重心位置的变动以及高加速度驱动中发生的振动,抑制了加工精度和加工面精度低下的现象。
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